落地型單頭式塗佈機系列

落地型單頭式塗佈機系列
Floor-standing Single Bowl Spin Coater Series


可整合多種塗料自動供料、盆罩抽氣控制、晶片中心定位,滿足不同的製程/生產需求。

           

                      4吋基板光阻塗佈用      

      

                    200x200mm有機TFT開發試產用                                             
    
       8吋基板光阻塗佈用            285x305mm玻璃基板光阻塗佈用                                                                         
    

   320x400mm玻璃基板光阻塗佈用       320x400mm玻璃基板光阻塗佈用