落地型多頭式塗佈機系列

落地型多頭式塗佈機系列
Floor-standingMultiple Bowls Spin Coater Series


可整合u一次多片wafer與多種塗料自動供料、盆罩抽氣控制、

晶片中心定位,滿足不同的製程/生產需求。

          

         2吋基板光阻塗佈用                  2吋基板光阻塗佈用

      

                     100x100mm陶瓷基板光阻塗佈用