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RWS 單臂晶圓機器人

    商品簡述
     

      商品詳細介紹Product Introduction

      特徵
      • 軟硬體垂直整合優勢,並且採用高精密,高剛性直驅馬達,重複精度達±0.1mm,迴轉半徑小,空間使用率高。
       
      應用
      • 適用於半導體產業(晶圓取放)、光電產業(小型面板、小型太陽能板)、LED產業(藍寶石基板、膠環)等取放設備。


      詳細產品介紹請參考多軸機器人產品介紹(點此可下載)

      商品備註說明Product Remark

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