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MS-6六自由度雷射干涉量測系統
商品簡述
六自由度雷射干涉量測系統 (MS-6) ─ 可用於三次元量測儀（CMM）與數控機床（NC 機床）的幾何誤差量測
該四光束激光系統能夠同時測量測試軸的所有三個平移誤差以及兩個或三個旋轉誤差
商品詳細介紹Product Introduction
六自由度雷射干涉量測系統 (MS-6) ─ 可用於三次元量測儀（CMM）與數控機床（NC 機床）的幾何誤差量測
該四光束激光系統能夠同時測量測試軸的所有三個平移誤差以及兩個或三個旋轉誤差，功能包括：- 線性誤差量測：可量測長達 4 公尺(最多6公尺)，且相對不確定度為 0.5 × 10⁻⁶（即 0.5 μm/m）。
- 直線度誤差量測：可量測 ±2 mm 範圍內的直線偏差，不確定度為 ±(1.5 μm + 0.5 × 所量距離 L)，或為量測值範圍的 0.1%。
- 俯仰（Pitch）與偏擺（Yaw）角誤差量測：範圍為 ±400 弧秒，不確定度為 ±(0.6 弧秒 + 0.05 弧秒/m)。
- 滾轉（Roll）角度量測：可透過額外的電子水平儀在水平方向進行量測。
- 平行度量測：不確定度為 ±(1.0 弧秒 + 0.2 弧秒/m + 讀值的 0.033)。
- 垂直度量測：不確定度為 ±(1.0 弧秒 + 0.2 弧秒/m + 讀值的 0.033)。
- 量測模組安裝於主軸頭（Quill）上，重量僅 220 克，不會對量測精度造成影響。
此系統提供針對環境因子進行的數位補償與修正功能，對應感測器的不確定度如下（不超過下列數值）：- 空氣溫度：± 0.1 °C
- 大氣壓力：± 1 hPa
- 相對濕度：± 5%
- 工件/材料溫度：± 0.1 °C
滾轉誤差可使用雷射系統（精度為 10 弧秒）或電子水平儀（精度為 0.6 弧秒）進行量測。
進一步了解產品，請參考產品詳細說明(點此可下載)。 商品備註說明Product Remark
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