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商品明細
商品詳細介紹Product Introduction
基本規格 |
外觀尺寸 | 1150mm(W)x1300mm(D)x2050mm(H) |
基板尺寸 | 100mm×100mm基板~8in Wafer |
操作方式 | 手動放片/自動供液 |
供料系統 | 自動供液手臂一組(可供應兩種顯影液、DIW、N2) |
轉速 | 10~3000 rpm (±3rpm) |
馬達 | 三菱AC Servo Motor |
電控系統 | 三菱PLC |
製程參數 | 10組 |
藥液恆溫控制 | 藥液出口溫度可控制23±1℃ |
商品備註說明Product Remark
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