商品明細

落地型8in自動供藥溫控顯影機

      商品詳細介紹Product Introduction

      基本規格
      外觀尺寸1150mm(W)x1300mm(D)x2050mm(H)
      基板尺寸100mm×100mm基板~8in Wafer
      操作方式手動放片/自動供液
      供料系統自動供液手臂一組(可供應兩種顯影液、DIW、N2)
      轉速10~3000 rpm (±3rpm)
      馬達三菱AC Servo Motor
      電控系統三菱PLC
      製程參數10組
      藥液恆溫控制藥液出口溫度可控制23±1℃

      商品備註說明Product Remark

      若有產品購買需求或有任何疑問,歡迎來電洽詢:(02)2695-7796,或mail 至sales@everisland.com,將有專人為您服務!

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